1963年,美国出了个洁净室标准FED—STD一209,在这项标准中,按每立方英尺中≥O.5U.m粉尘数量的最高允许浓度,将洁净室分成若干等级,如100级、10000级、100000级。2001年,中国新颁布的洁净室设计标准中采用了ISO分级。ISO洁净度等级以及与传统分级的对应关系见表。
ISO分级序数 大于或等于表中粒径的最大浓度限[pc/m3,]
(N) 0.1um 0.2um 0.3um 0.5um 1um 5um
ISO Class 1 10 2
ISO Class 2 100 24 10 4
ISO Class 3 1000 237 102 35 8 1级
ISO Class 4 10000 2370 1020 352 83 10级
ISO Class 5 100000 23700 10200 3520 832 29 100级
ISO Class 6 1000000 237000 102000 35200 8320 293 1000级
ISO Class 7 352000 83200 2930 10000级
ISO Class 8 3520000 832000 29300 100000级
ISO Class 9 35200000 8320000 293000
习惯说法的10万级的洁净度是指(按照美国联邦标准209E)在一立方英尺的空间内颗粒尺寸大于等于0.5微米的粒子数为10万个。
ISO14644-1标准空气洁净度分级标准如下:
http://www.iac-sdj.com/news_article.asp?id=677
ISO14644-1标准统计的参照粒子为大于等于0.1微米的粒子数(大于等于0.5微米的粒子数也做了规定),分类依据是一立方米内的大于等于0.1微米的粒子数。
按照这样的标准去换算,习惯说法的10万级的洁净度属于ISO 8级。
——我的个人见解,实际是ISO 8级中比较“干净”的,但是肯定达不到ISO 7级。因为ISO 8级中大于等于0.5微米的粒子数可以达到3520000,相当于一立方英尺的空间内大于等于0.5微米的粒子数可以达到32万个。
推荐仪器:3886激光粒子计数仪
